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环形微机电陀螺本征轴向的推算方法

【作者】王锦 陈志勇 张嵘

【关键词】 环形陀螺; 本征轴; 结构缺陷; 微机电系统;

摘要环形微机电陀螺的敏感结构误差会导致工作模态频率分裂和振动轴向偏转,是影响性能的主要因素之一。质量分布误差中影响最大的是4次谐波分量。为了确定这种缺陷所在的角度,理论分析了环结构在不同角度的检测电极处的频率响应特性,提出了一种通过频率响应参数计算环形结构工作模态本征轴向的方法。为了检验该方法的准确度,采用有限元方法对具有结构缺陷的环结构进行了谐响应分析,结果表明该方法确定的本征轴向相对误差约为2%。 

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